光学镀膜综合膜应力对面型精度的影响

膜应力

膜应力是指通过两种力的合力，在镀膜前后，使材料面精度的状态发生变化，产生变形的一种力。

热应力

高温状态下，在玻璃上镀上溶化了的金属材料，此时，由于高温玻璃和金属都处于膨胀的状态，将温度慢慢降低，取出材料后可观测到玻璃发生弯曲。

这种现象的产生是由于玻璃与金属的膨胀不同导致的。因为在高温下，玻璃的膨胀量与金属的膨胀量不同，在冷却时，金属会收缩，金属的膨胀系数较大，所以冷却时体积的变化量也较大。

产生收缩的力叫压缩应力（使之凸出的力），向外拉的力叫拉拔应力（使之凹陷的力）。

那么在玻璃上镀上与玻璃成份相同的硅（SIO2）的话会怎样呢？

通常在镀膜的时候，玻璃处于溶化状态，在真空中处于较高的位置而被镀膜，会产生液体紧贴在固体上。在这里也是由于溶化状态的玻璃的热膨胀量比较大，在降低温度的时候会收缩。

内部应力

在玻璃表面形成的金属膜，当它附著在玻璃表面的时候会给其带来热能。

溅射镀膜机的热能源头就是等离子，由于高热能，金属会冲撞玻璃，其结果就是玻璃与薄膜内部产生了热能而发生膨胀现象。此时，会发现与热应力产生相同的变化，一般会成为压缩应力。另外。尤其是产生的内部应力会促进金属膜氧化的情况下，压缩应力会变小。这就是为什么要进行热处理来提高金属膜内部的氧气浓度，也就是稳定性。

综合应力的关联性

上边讲述的两种应力的综合，称之为综合应力。此综合应力会使镀膜前后的其板面精度发生变化与结合。

为引导综合应力，从镀膜后的状态扣除镀膜前的状态，可引导出膜产生的力。

我们在综合应力的评估测试中有效的解决了这个问题。

方法：

如果明白镀的是什么材料，什么板厚，根据公式就可以求出面精度的变化量。

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